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3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000
3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000 
品牌: 进口
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仪器简介:

  LEXT 4000备有常规显微镜的功能,并有BF,DF,DIC等多种观察方法。它以405nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描,获得水平分辨率高达0.12μm的表面显微图像,通过显微镜高精度步进马达驱动和5nm光栅控制的聚焦装置,运用共聚焦技术(Confocal),逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图象叠加,获得样品表面的三维真实形态(近似SEM扫描电镜的Morphologic图像,将采样数据运算后,可获得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚,几何参数等测量数据。可作为高精度测量设备,符合国际计量追溯体系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析。


主要特点:

精益求精的测量性能

1> 轻松检测尖锐角

采用了有着高N.A. 的专用物镜,和能最大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统,LEXT OLS4000可以精确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

2> 克服反射率的差异

LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统,那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品,也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。

3> 稳定的测量环境

为了排除来自外部的影响,稳定测量,LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡皮组成的“混合减震机构”。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业,不需要专用的防震平台。

4> 更加真实的再现微小凸凹

微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。

5> 对应大范围观察

在高倍率影像观察中,视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了缝合功能,最多可拼接500 幅影像,从而能得到高分辨率和大视场范围的影像数据。不仅如此,LEXT OLS4000 还能对该大视场影像进行3D 显示和3D 计测。

理想的操作环境

1> 通过ID 管理来强化自定义和安全性

操作员可以使用自己的ID 登录系统,对影像数据库和操作环境进行自定义。报告和影像上会显示ID 号码,这样,谁、何时创建或拍摄等信息便一目了然。此外,还可以对每个ID 设置级别,管理者可以自由分配各操作员的操作范围和功能范围。

2> 即使是初次使用者也能安心操作的向导功能

LEXT OLS4000 搭载了详细的向导功能,即使是初次使用者也能立即操作仪器,不需要在阅读使用说明书或培训上花费时间。也可以对向导功能进行自定义。

3> 不会在观察中“迷路”的宏观图

一直以来,由于高倍率观察时的视场变窄,经常会有不知道在观察样品的哪一部分等情况发生。LEXT OLS4000 搭载了宏观图功能,始终显示低倍率观察时的大范围影像,在影像上指出“现在在这里”。

4> 避免接触和损坏样品、自动调整影像的电动物镜转换器

为了避免切换物镜时损坏样品,LEXT OLS4000 搭载了标准配置的电动物镜转换器。切换物镜时,物镜转换器自动退避,不会接触样品。不仅如此,电动物镜转换器还能同时自动对准焦点和影像中心,调整合适的亮度,实现了轻松的倍率变换操作。

5> 能提供熟练操作者描绘水平的INR 算法

奥林巴斯根据长年积累的经验和技术,成功的在设备中嵌入了相当于熟练操作者水平的异常值判断基准。这就是新搭载在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作仪器的操作员也能轻松获得与熟练操作者一样水平的影像。

6> 实现了创建报告时必需的快速和简明易懂

激光显微镜可以代替相关人员,快速而清楚地把观察和测量结果制作成报告。LEXT OLS4000在测量结束后,只要一个点击就可以完成创建报告任务。同时,LEXT OLS4000 还备有充实的编辑功能,可以自由自在地定制各种报告模板。

卓越的粗糙度分析能力

1> 将激光纳入表面粗糙度测量仪的标准中

作为表面粗糙度测量仪的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。

2> 微细粗糙度

使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比触针的针尖直径更细微的凹凸。而激光显微镜有着微小的激光焦斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。

3> 非接触

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到触针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在触针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜,不会影响样品的表面状态,可以准确的测量样品的表面粗糙度。

4> 微细处的测量

使用接触式表面粗糙度测量仪,其触针无法进入微小领域,所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位,能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。

3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000 规格
 

光学系统UIS2光学系统(无限远校正)
总倍率108x~17280x
观察视场2560x2560~16x16 µm
机 身  观察方法 明视场/微分干涉/激光/激光微分干涉
   激光 405 nm 半导体激光
白色照明 白色LED照明
对焦单元粗调Z轴载物台划动100 mm
最大样本高度100 mm
细调Z轴物镜转换器测量划动10 mm
驱动分辨率0.01 µm
重复性σn-1=0.012 µm
物镜 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
光学变焦 1x~8x
载物台100x100 mm
外形尺寸276(W)x358(D)x405(H) mm
重量32 kg(只包括机身)
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