规格参数
★ 工作台
金属台面尺寸(㎜): 355×240
玻璃台面尺寸(㎜): 210×175
运动行程 (㎜): 150×100
★ 数显分辨率 (㎜): 0.001
★ 放大倍率
变焦物镜倍率:0.7-4.5x 工作距离:92㎜
电子放大倍率: 26-168x(17″显示器、分辨率为 物方视场
★ 摄影机: 日本原装1/2″彩色CCD摄影机
★ Z轴升降: 150㎜
★ 照明系统: 轮廓照明与表面照明均采用LED
★ 仪器精度:
X,Y方向的精度满足: (3+L/75)μm, Z 方向的精度: ≤0.01㎜。
★ 仪器重量 (㎏): 140
★ 外形尺寸(长×宽×高)㎜: 560×500×900